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半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业#xff0c;广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中#xff0c;如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节#xff0c;真空泵都是必不可少的关键设备#xff0c;它可以构建稳定受控的真空… 行业背景
半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节真空泵都是必不可少的关键设备它可以构建稳定受控的真空环境以避免产品出现污染、氧化或者其他缺陷对于半导体产品的品质、寿命以及性能都有着不可忽视的影响。 为保证真空泵系统安全稳定运行物通博联提供基于工业智能网关的数据采集远程监控系统实现真空泵运行状态及工艺参数的在线监控与预警从而帮助工厂及时采取措施保证生产安全与产品质量。 行业痛点
1、数据采集困难真空泵通常分布在生产现场或远程地点传统的手动采集数据方式需要人工去现场抄写数据工作量大因此需要数据采集实现远程监控。
2、故障发现慢真空泵运行出现故障无法及时感知一旦出现故障就会影响生产的稳定性和安全性同时造成物料浪费因此需要故障预警报警机制。
3、数据应用难题真空泵产生的数据包括压强、温度、振动等多种参数需要进行实时处理和分析需要数据报表及展示分析渠道实现提质增效、节能优化等。 解决方案
半导体工业正在逐步实现自动化生产真空泵系统通过PLC自动化控制已经得到广泛应用因此只需要将物通博联工业智能网关接入到PLC就能实时采集PLC内真空泵的工作参数压强、温度、振动等并通过5G/4G/WIFI/以太网等方式上传到云平台或本地上位机进而实现设备远程监控、故障报警、远程控制及远程维护等功能。
通过手机端和电脑端工厂可以远程查看工艺组态画面了解每台真空泵的运行状态、工艺参数、故障信息、运维记录等从而实现及时管理控制维护安全稳定的生产秩序。
