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知识星球星球名芯片制造与封测技术社区点击加入里的学员问TGV用的玻璃有什么类型各有什么差别
TGV的玻璃类型 一般有三种无碱玻璃 硼硅酸盐玻璃石英。
无碱玻璃
基于硅酸盐玻璃但去除了Na⁺、K⁺等碱金属离子
主要成分SiO₂ Al₂O₃ B₂O₃ BaO 等
较脆抗机械冲击能力弱
硼硅酸盐玻璃
SiO₂ B₂O₃ 为主少量Na₂O、K₂O、Al₂O₃
透明度高适合激光打孔,是目前最广泛使用的 TGV 材料
石英玻璃
几乎为纯SiO₂99.9%可分为天然石英熔融或合成熔融石英,性能极佳但难加工、成本高
三者性能应用比较 特性/玻璃类型 无碱玻璃 硼硅酸盐玻璃 石英玻璃 SiO₂含量 中高 中等 最高 CTE热膨胀系数 ~3.5–4.5 ppm/°C ~3.3–3.8 ppm/°C ~0.5 ppm/°C 激光加工性 较好 很好 最难 介电性能 优 良 极优 价格 中等偏上 低 最贵 加工难度 中等 低 高 用途 高频封装、RDL 常规封装 高端光电、MEMS
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